반도체 세정기술 中 유출, 뒷통수 맞은 삼성.. 산업스파이 실형

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삼성전자 자회사 세메스의 반도체 세정 장비 기술이 중국으로 넘어갔다. 검찰은 해당 사건에 가담한 이들을 재판에 넘겼다.

 

반도체 기술 빼내 中 업체에 팔아 수백억 챙겨…"불법 취득·활용"

수원지검 방위사업·산업기술범죄수사부는 부정경쟁방지법 위반 등의 혐의로 세메스 전 연구원 A씨 등 2명과 기술유출 브로커 B씨, 세메스 협력사 대표 C씨 등 4명을 구속기소 했다고 16일 밝혔다.

 

세메스에서 10년 이상 연구원 등으로 근무한 A씨 등은 2018년 3월부터 작년 12월까지 부정하게 빼낸 세메스의 기술정보로 동일한 사양의 반도체 세정 장비 14대를 제작한 뒤 관련 기술과 함께 중국 업체나 연구소 등에 팔아넘겨 약 710억 원을 취득한 혐의를 받고 있다.

 

세메스는 어떤회사? 반도체의 어떤 기술?

삼성전자가 1993년 세운 자회사 '세메스'는 반도체 세정 장비를 개발하는 업체다. 세계 최초로 초임계 세정 장비를 개발 및 상용화해 업계의 주목을 받았다. 초임계 세정 장비는 기판 손상을 최소화해 초미세 반도체의 불량률을 줄이는 장비로, 산업통상자원부의 국가핵심기술로 지정된 바 있다.

 

일당이 빼돌렸다는 의혹을 받고 있는 기술은 국내에서 세계 최초로 개발된 '초임계 세정장비'로, 미세 반도체 불량률을 줄이는 역할을 한다. 한국 반도체 산업 경쟁력을 지탱하는 기술인 셈이다. 정부도 그 중요성을 인정해 '국가 핵심기술'로 지정한 바 있다.

세정장비는 반도체 기판을 깨끗하게 세정하는 설비다. 통상 현대 반도체 산업은 머리카락 굵기 10만 분의 1에 해당하는 나노미터(nm) 단위로 공정이 이뤄진다. 아주 작은 입자 수준의 먼지나 오염물만 묻어도 치명적인 불량을 일으킬 수 있다. 세정장비는 이런 변수를 제거함으로써 반도체의 불량률을 최소화하는 핵심 장비인 셈이다.

 

한편 수원지검 방위사업 산업기술범죄형사부(부장검사 이춘)는 16일 '부정경쟁 방지 및 영업비밀보호에 관한 법률' 위반 혐의로 세메스 전 연구원 2명, 부품 협력사 직원 2명 등 4명을 구속기소했다.

이들은 지난 2018년 삼성에만 납품해 온 세정 장비와 똑같은 설비를 만든 뒤 중국으로 넘긴 혐의를 받는다. 검찰은 이 과정에서 세메스의 협력사이자 삼성의 2차 협력사인 업체들도 일부 가담한 것으로 보고 수사 중이다.